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硅片清洗机

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產品描述
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设备特点

1.人机界面,PLC控制;
2.采用单臂机械手,可灵活调节清洗工艺;
3.各清洗槽设置抛动机构,保证清洗效果;
4.采用超声波清洗、鼓泡冲洗等工艺;
5.采用28KHZ、40KHZ多频段超声波;
6.全封闭机构,外形美观。
7.设备内部安装有维修照明灯,方便维修。
8.上下料有专用手推车,方便员工操作.
 

工艺流程

上料→超声波粗洗→超声波精洗→高压喷淋清洗→超声波漂洗→超声漂洗→热风干燥→下料
 

应用范围

 

设备适用于:
 
1
炉前清洗:扩散前清洗。
2
光刻后清洗:除去光刻胶。
3
氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4
抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。
5
外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。
6
合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣
7
离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层
8
扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。
9
外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。
10
CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。

 

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